Number: 11236870
Country: Germany
Source: TED
Lieferung, Installation und Inbetriebnahme eines Rasterelektronenmikroskops CD-SEM
Rasterelektronenmikroskop zur vollautomatischen Strukturbreitenmessung (CD-SEM)
Ferdinand-Braun-Institut,Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik; Gustav-Kirchhoff-Strasse 4; 12489 Berlin-Adlershof
Rasterelektronenmikroskop zur vollautomatischen Strukturbreitenmessung (CD-SEM
Zusätzliche Wafergrößen
KLA-Tencor CD-SEM